暴雪清洗設備是一種利用干冰（固態(tài)二氧化碳）進行清洗的設備，廣泛應用于半導體、電子、光電等行業(yè)。其工作原理是通過將干冰顆粒噴射到待清洗表面，利用干冰的低溫和動能去除污垢和污染物。

干冰清洗原理

1. 干冰顆粒噴射：干冰在高壓氣流的作用下被噴射到目標表面。

2. 瞬間升華：干冰顆粒在撞擊表面時，會迅速升華為氣體，產生的冷卻效應使污垢變脆并易于剝離。

3. 沖擊力去污：干冰顆粒的動能和溫度變化共同作用，能夠有效去除附著在表面的油脂、灰塵和其他污染物。

4. 無殘留：由于干冰在清洗后會直接轉化為氣體，不會留下任何清洗劑殘留。

優(yōu)點

- 環(huán)保：不使用化學清洗劑，減少了對環(huán)境的影響。

- 高效：能夠快速去除頑固污垢，提高清洗效率。

- 無損傷：對敏感表面（如半導體材料）不會造成物理損傷。

- 適用性廣：可用于多種材料和表面類型的清洗。

應用領域

在半導體電子行業(yè)，暴雪清洗設備主要用于以下幾個方面：

1. 晶圓清洗：在晶圓制造過程中，去除表面微小顆粒和污染物，以確保后續(xù)工藝的良好進行。

2. 封裝清洗：在半導體封裝前，對芯片和封裝基板進行清洗，確保無塵和無污染。

3. 設備維護：定期清洗生產設備，去除積累的灰塵和油污，保持設備的正常運行。

舉例概述

例如，在制造集成電路時，晶圓表面可能會附著微小的顆?；蚧瘜W殘留物。使用暴雪清洗設備，可以有效地去除這些污染物，確保晶圓的表面質量，從而提高產品的良率和性能。

此外，在LED制造中，暴雪清洗也被用于清洗發(fā)光二極管的基板，以去除生產過程中的雜質和污染。

總之，暴雪清洗設備憑借其高效、環(huán)保和無損傷的特性，成為半導體電子行業(yè)中不可或缺的清洗工具。