在 194.65K 和環(huán)境壓力下，固體干冰顆粒的莫氏硬度為 2.0，與環(huán)境壓力和 78.5°C 溫度下的石膏相當(dāng)。干冰顆粒的堆積密度為1000-1500kg/m3。

它們具有典型的米粒形狀，長約3~10mm，寬約2.5~3.5mm。固體 CO2 也可以直徑為 10-16 毫米的圓形顆?；驂K狀，或從干冰 (10-20 千克) 上刮下的薄片形式使用。

干冰顆粒的質(zhì)量通常比顆?；虮∑螅糜趶娏η鍧嵳吵砘蛞姿榈奈廴疚?。這些顆粒具有較低的質(zhì)量但較高的通量密度，這有助于去除較薄、較硬的污染物。這種不太積極的清潔方法還可以防止損壞基板。